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氨 水
| 英文名 |
ammonium hydroxide，electronic grade |
| 分子式 |
NH4OH |
| 物化性质 |
无色透明液体，具有氨的特殊气味，呈强碱性。比水轻，常温下饱和氨水含氨量为25％～27％，25℃时密度为0.90 g/ml。能于醇、醚相混溶，遇酸剧烈反应放热生成盐，当热至沸腾时，氨气可全部从溶液中溢出。氨与空气的混合物有爆炸的危险性。 |
| 用途 |
在集成电路制造中主要用于硅片清洗、腐蚀工序中，用时可与过氧化氢、氟酸配制使用。 |
| 包装及贮运 |
氨水用密封的玻璃瓶、铁桶、橡胶桶、不锈钢槽或槽船等包装。或选择化学稳定性好的聚乙烯瓶，在超净环境中进行洗瓶和分装。
氨水储存时，应放在阴凉避风、隔绝火源的场所，以减少氨的挥发和避免发生爆炸事故。，防震、低温密封保存，贮存期为半年。 |
企业标准 Q/（PY）PDHG2－2003
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工业用 |
色度 , ≤号 |
80 |
80 |
氨（NH3） , ≥ , ％ |
25 |
20 |
残渣含量 , ≤ , 克/升 |
0.3 |
0.3 |
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